Unsere Geschichte: Meilensteine seit 1983
Mikro- & Nanotechnologie
1983 entstand IMS CHIPS aus einer klaren Vision: Forschung, Entwicklung und Fertigung in der Mikroelektronik für Industrie und Anwender zugänglich zu machen. Trotz politischer und finanzieller Herausforderungen wurde das Institut innerhalb weniger Monate als Stiftung des öffentlichen Rechts gegründet.
Was damals als Antwort auf eine technologische Lücke begann, prägt uns bis heute: wirtschaftsnahe Forschung, erfolgreicher Technologietransfer und Innovationen, die den Weg aus dem Labor in reale Anwendungen finden.
Unsere Geschichte beginnt nicht nur mit einem Datum, sondern mit einer Entscheidung unter Zeitdruck: 1982/83 suchten NRW/Fraunhofer einen Leiter für ein geplantes Mikroelektronik-Institut in Duisburg – und boten die Leitung dem Stuttgarter Professor Ernst Lüder an.
Baden-Württemberg wollte Lüder in Stuttgart halten; Ministerpräsident Lothar Späth griff dafür ganz persönlich ein. Aus dieser Dynamik heraus brachten die Universität Stuttgart und SEL (Standard Elektrik Lorenz) im Februar 1983 den Vorschlag für eine „Gesellschaft für Mikroelektronik“ ein – mit einem klaren Ziel: eine zugängliche Entwicklungs- und Fertigungskapazität für mikroelektronische Schaltungen aufzubauen, auch für Anwender und Industrie.
Dass das kein Selbstläufer war, zeigt der Gegenwind: Fraunhofer und BMFT wollten keine Doppelgründung und sahen keinen Bedarf für eine zweite ähnliche Einrichtung – Bundesmittel waren in Stuttgart daher nicht zu erwarten.
Trotz dem steinigen Weg und Gegenwind wurde das Institut in Stuttgart im Juli 1983 als Stiftung des öffentlichen Rechts gegründet – und zwar „in weniger als einem halben Jahr“ nach der Initiative.
Der Ausgangspunkt war eine Lücke: Es fehlte eine allgemein zugängliche Einrichtung, die Kleinserien und die Weiterentwicklung innovativer Schaltungen unterstützt.
Genau daraus entsteht bis heute unsere DNA: Wirtschaftsnah, transferorientiert und offen für Partner – mit Technologien, die nicht im Labor enden, sondern in Anwendungen ankommen.
Wichtige Meilensteine. Unsere Entwicklung im Überblick
Von der Photonik-Pilotlinie zur technologischen Souveränität
2026
- P4Q: Verantwortung für die TFLN-Fertigungslinie im europäischen Großprojekt zur Industrialisierung photonischer Quantentechnologien.
- FRAUKE: Strategische Mitgestaltung der nächsten Generation von KI-Chips und Halbleitertechnologien in Baden-Württemberg.
- QuID Neuro: Transfer von Quantensensorik in die Medizin zur hochsensitiven Detektion von Biomarkern in der Hirntumordiagnostik.
- „From Cleanroom. To Greenroom.“ Impulse und Lösungsansätze für einen energieeffizienten und nachhaltigen Reinraumbetrieb.
2025
- Start der Pilotlinie für photonische KI-Chips gemeinsam mit Q.ANT.
- Prof. Dr. Niels Quack übernimmt die geschäftsführende Leitung des Instituts.
- Stärkung der technologischen Souveränität Europas durch Forschung und Pilotfertigung.
- Ausbau der Aktivitäten in den Bereichen Quanten-, Photonik- und Sensortechnologien.
Quantentechnologien, KI und nachhaltige Mikroelektronik
2024
- Energieeffizienz und nachhaltiger Reinraumbetrieb als strategisches Zukunftsthema.
2023
- Vereinbarung mit Q.ANT zur gemeinsamen Fertigung von Quantenchips.
- Ausbau der Nanotechnologie-Infrastruktur durch REACT-EU-Fördermittel.
- Deutliche Reduzierung des Energieverbrauchs durch umfassende Nachhaltigkeitsmaßnahmen.
2022
- Entwicklung eines eigenen Edge-AI-Chips mit RISC-V-Prozessor und KI-Beschleunigern.
- Start des PhotonQ-Projekts für integrierte photonische Quantenchips.
2021
- Beteiligung am Zukunftscluster QSens für Quantensensorik.
- Publikationspreis der Universität Stuttgart für Arbeiten in der Silizium-Photonik.
Photonik, Medizin und Künstliche Intelligenz
2020
- Beitrag zum Deutschen Zukunftspreis durch hochpräzise Optikkomponenten für die EUV-Lithographie.
- Entwicklung von Sensorik für Industrie-4.0-Anwendungen im Projekt BW-CPS.
2019
- Start des Projekts NeMoH zur Entwicklung neuromorpher Hardware für Künstliche Intelligenz.
- Auszeichnung mit dem Dürr Supplier Award für Innovation & Technology.
2018
- Titelthema im IEEE Journal für adaptive Layoutverfahren in flexiblen Foliensystemen.
- Fortschritte bei flexibler Elektronik und Silizium-in-Folie-Technologien.
2017
- Förderung über 3 Mio. Euro für die Umstellung der Forschungsinfrastruktur auf die 200-mm-Wafertechnologie.
2016
- 30-jähriges Jubiläum des Instituts.
- Auszeichnung als „100 Orte für Industrie 4.0 in Baden-Württemberg“.
Infrastruktur und neue Technologiefelder
2015
- Start des EUV-Maskenprojekts SeNaTe.
- Abschluss des Spitzenclusters MicroTEC Südwest.
2014
- Prof. Dr. Joachim Burghartz erhält den IEEE J.J. Ebers Award, eine der weltweit bedeutendsten Auszeichnungen der Mikroelektronik.
2013
- Einweihung des neuen Reinraums.
- Weltrekord bei energieeffizienter photonischer Integration in Silizium.
2011
- Gründung der Innovationsallianz Baden-Württemberg (innBW) mit Beteiligung von IMS CHIPS.
- Baubeginn der Reinraumerweiterung.
2010
- Gewinn des Spitzenclusters MicroTEC Südwest.
- ASICs von IMS CHIPS kommen im Radarsatelliten TanDEM-X zum Einsatz.
Ausbau der Forschung und internationale Sichtbarkeit
2008
- 25-jähriges Jubiläum des Instituts.
- Start des Projekts ProMikron zur Weiterentwicklung ultradünner Chips.
2007
- Erste klinische Tests eines Retina-Chips für erblindete Patienten.
- Kooperation mit Bosch zur Entwicklung ultradünner Mikrochips.
2006
- Präsentation der Chipfilm®-Technologie für ultradünne Siliziumchips auf der IEDM in San Francisco.
- Best Paper Award auf der Photomask Japan.
2005
- Prof. Dr. Joachim Burghartz übernimmt die Leitung des Instituts.
- Fertigung der ersten EUV-Vollfeldmasken für ASML.
2002
- Entwicklung strahlungsharter Bildsensoren für Raumfahrtanwendungen.
- Der einmillionste ASIC verlässt die IMS-Fertigung.
- Gründung der IMS VISION GmbH.
Technologische Grundlagen und erste Innovationen
1999
- Vorstellung des Retina-Implantat-Konzepts gemeinsam mit Partnern aus Forschung und Medizin.
- Erste Farbbilder mit HDRC®-Kameras.
1998
- Entwicklung des weltweit ersten Mobiltelefons mit integriertem GPS-Ortungsmodul im EU-Projekt MORE-Phone.
1993
- Internationale Aufmerksamkeit durch Forschungsarbeiten zur 3D-Integration von CMOS-Schaltungen.
- Zertifizierung nach ISO 9001.
1992
- Start des Bildungsprogramms „Schülerinnen und Schüler machen Chips“ (SMC).
- Anmeldung des Grundlagenpatents für HDRC®-Bildsensoren.
1991
- Umstellung der Fertigung auf 6-Zoll-Wafertechnologie.
- Entwicklung innovativer Wafer-Bonding-Technologien und erster SOI-Anwendungen.
Gründung und Aufbau
1986
- Fertigstellung des Reinraums und Inbetriebnahme der ersten Halbleiter-Fertigungslinie.
- Offizielle Einweihung des Institutsgebäudes.
1985
- Beginn des europäischen Forschungsprojekts PROMETHEUS, einem frühen Vorhaben für intelligente Fahrerassistenzsysteme.
1983
- Prof. Dr. Ernst Lüder wird Gründungsdirektor.
- Gründung des Instituts für Mikroelektronik Stuttgart (IMS) als Stiftung.
Ernst Lüder
Bernd Höfflinger
Joachim Burghartz
Jens Anders
Niels Quack